仪器名称
SEM
设备用途
1.观察微观形貌
2.进行微区成分分析和显微织构分析
技术指标
肖特基场发射电子枪
高压: 1 - 30 kV
探测器:
- 透镜内二次电子探测器 (TLD-SE)
- Everhardt-Thornley 二次电子探测器
- 低真空二次电子探测器 (LVD)
- 定向背散射探测器 (DBS)
- UHR 低真空二次探测器 (Helix 探测器)
高真空模式分辨率:
- 1.0 nm at 15 kV
- 1.4 nm at 1 kV
电子束减速功能
放大倍数: 300,000x
样品台倾转角度: -15°/+75°
能量色散X射线探测器 (EDS)
- 型号: Oxford X-max 50
- 分辨率: 127 eV (Mn Kα)
- 元素范围: Be4 - U92
- 定性分析、定量分析、线扫描、面扫描
电子背散射衍射探测器 (EBSD)
- 型号: Oxford Nordlys F+
- 微区显微织构分析
测试项目/价格
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