仪器名称

场发射扫描电子显微镜

主要功能

本设备用于观察材料表面形貌，表征材料表面-此表面的化学成分及结构。配备有EBSD及EDS探头。

参数指标/适用范围

加速电压范围：200V～30KV

电子束电流范围：1pA～400nA

分辨率：1nm

精度等级：＜3μm

样品移动范围：110mm×110mm×66mm

测试项目/价格

一般试样，500元／件，EBSD加收100元/小时

复杂试样，面议

不含制样费