园区介绍
园区规划
产业资讯
联系我们
产业招商
党工团建
市政交通
入驻服务
人力资源
知识产权
科技创新
科技金融
未来实验
检测认证
智慧办公
科技成果转化
物业服务
商业服务
商务服务
园区活动
线上问卷
市政公告
设备名称:步进式光刻机
设备型号:i12D
产地国:日本
生产公司:NIKON-上海微高
购置时间:2017-08
性能指标:进行光刻自动曝光最小线宽0.35um
用途:光刻